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用電測法測量非電學(xué)量時首先必須將被測的非電學(xué)量轉(zhuǎn)換為電學(xué)量而后輸入之。根據(jù)不同非電學(xué)量的特點(diǎn)設(shè)計(jì)成的有關(guān)轉(zhuǎn)換裝置稱為傳感器,而被測的力學(xué)量如位移力速度等轉(zhuǎn)換成電容變化的傳感器稱為電容傳感器。 從能量轉(zhuǎn)換的角度而言電容變換器為無源變換器,需要將所測的力學(xué)量轉(zhuǎn)換成電壓或電流后進(jìn)行放大和處理力學(xué)量中的線位移、角位移、間隔、距離、厚度、拉伸、壓縮、膨脹、變形等無不與長度有著密切聯(lián)系 的量,這些量又都是通過長度或者長度比值進(jìn)行測量的量,而其測量方法的相互關(guān)系也很密切。另外,在有些條件下,這些力學(xué)量變化相當(dāng)緩慢,而且變化范圍極小。如果要求測量極小距離或位移時要有較高的分辨率,其他傳感器很難做到實(shí)現(xiàn)高分辨率要求。在精密測量中所普遍使用的差動變壓器傳感器的分辨率僅達(dá)到1-5微米數(shù)量級,而有一種電容測微儀,他的分辨率為0.01微米,比前者提高了兩個數(shù)量級,最大量程為100微米,因此他在精密小位移測量中受到青睞。對于上述這些力學(xué)量,尤其是緩慢變化或微小量的測量,一般來說采用電容式傳感器進(jìn)行檢測比較適宜,主要是這類傳感器具有以下突出優(yōu)點(diǎn): 1、測量范圍大 其相對變化可超過100%; 2、靈敏度高 如用比率變壓器電橋測量,相對 變化量可達(dá)10-7 數(shù)量級; 3、動態(tài)響應(yīng)快 因其可動質(zhì)量小固有頻率高高頻特性既適宜動態(tài)測量,也可靜態(tài)測量; 4、穩(wěn)定性好 由于電容器極板多為金屬材料極板間襯物多為無機(jī)材料,如空氣、玻璃、陶瓷、石英等 ;因此可以在高溫、低溫、強(qiáng)磁場、強(qiáng)幅射下長期工作,尤其是解決高溫高壓環(huán)境下的檢測難題。
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